반도체 소자 제조장치용
포커싱링에 대한 쿨링시트
부착장치 특허증

3W급 반도체 장비용
방열패드 조성물 특허증

반도체소자 제조용
포커싱링에 대한 쿨링시트
부착을 위한 진공챔버
특허증

반도체 소자 제조용
포커싱링의 쿨링시트
부착장치 특허증

실리콘 부품 포장용
용기 특허증

가스켓 제조 장치 및
제조 방법 특허증

반도체 제조장비의
챔버리드 어셈블리용
가스켓 특허증

반도체 부품 필름 부착용
지지체 디자인등록증

반도체 부품 필름 부착용
하부 지지체 디자인등록증

반도체 부품 필름 부착용
지지체 고정핀 디자인등록증

포커싱링 센터링
지그 디자인등록증